AI学習結果から装置の異常検知
明電舎は22日、半導体製造装置など各種自動化装置からのセンシングデータを収集し、AI（人工知能）学習結果から対象装置の異常を検知してエンドポイントで予知保全を行う小型AIエッジコントローラの販売を開始したと発表した。AI学習サーバの学習結果から、AIエッジコントローラが単独で自律判断が可能。リアルタイム性を確保し通信速度低下を防止する。AI学習により、装置異常アラームの虚報が減少し、高精度な異常検知ができる。サイズは高さ200mm、幅140mm、奥行47mm。半導体通信規格SECS対応モデルを開発中で、2018年１月に完了予定。
2017/11/28
